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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD小型蒸鍍儀

小型蒸鍍儀

產品簡介

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

產品型號:KT-Z1650CVD
更新時間:2025-01-15
廠商性質:生產廠家
訪問量:5103
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品牌鄭科探濺射氣體根據需求氣體
樣品臺尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸50mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀價格區間1-5萬
產地類別國產應用領域電子/電池

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

小型蒸鍍儀

小型蒸鍍儀技術資料:

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品蒸發源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

≤1800℃

支持蒸發坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口  6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)  

數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa)

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)






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